Hoʻohana i nā pipeline kinoea hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe i nā ʻōnaehana uila uila

ʻO ka 909 Project Very Large Scale Integrated Circuit Factory he papahana hana nui ia o ka ʻoihana uila o koʻu ʻāina i ka wā o ka Hoʻolālā ʻEiwa ʻElima Makahiki e hana i nā ʻāpana me ka laulā laina o 0.18 microns a me ke anawaena o 200 mm.

ʻO ka ʻenehana hana o nā kaapuni hoʻohui nui nui ʻaʻole wale e pili i nā ʻenehana kiʻekiʻe e like me ka micro-machining, akā kau pū kekahi i nā koi kiʻekiʻe ma ka maʻemaʻe kinoea.
Hāʻawi ʻia ka lako kinoea nui no Project 909 e kahi hui hui ma waena o Praxair Utility Gas Co., Ltd. o ʻAmelika Hui Pū ʻIa a me nā ʻaoʻao kūpono ma Shanghai e hoʻokumu pū i kahi mea hana kinoea. hale, e uhi ana i kahi o 15,000 square meters. ʻO ka maʻemaʻe a me nā koi hoʻopuka o nā kinoea like ʻole

Hoʻokumu ʻia ka nitrogen (PN2), nitrogen (N2), a me ka oxygen maʻemaʻe kiʻekiʻe (PO2) e ka hoʻokaʻawale ʻana i ka ea. Hoʻokumu ʻia ka hydrogen maʻemaʻe kiʻekiʻe (PH2) e ka electrolysis. Ua kūʻai ʻia ʻo Argon (Ar) a me ka helium (He) ma waho. Hoʻomaʻemaʻeʻia ka quasi-gas a kānana no ka hoʻohanaʻana i ka Project 909. Hāʻawiʻia ke kinoea kūikawā i loko o nā'ōmole, a aia ka pahu pahu hau i loko o ka hale hana kōkua o ka mea kanu hana kaapuni.
ʻO nā kinoea ʻē aʻe e komo pū me ka ʻōnaehana CDA hoʻomaloʻo maloʻo maloʻo, me ka nui o ka hoʻohana ʻana o 4185m3/h, kahi hau kaomi o -70°C, a me ka nui o ka nui o ka 0.01um i ke kinoea ma kahi o ka hoʻohana. ʻO ka ʻōnaehana hanu ʻana (BA), ka nui o ka hoʻohana ʻana 90m3/h, ka nui o ka hau hau 2 ℃, ka nui o ke kinoea ma kahi o ka hoʻohana ʻana ʻaʻole i ʻoi aku ma mua o 0.3um, ka ʻōnaehana hoʻoheheʻe (PV) kaʻina, ka nui hoʻohana 582m3/h, degere vacuum ma kahi o ka hoʻohana -79993Pa . ʻO ka hoʻomaʻemaʻe ʻana i ka ʻōnaehana hoʻomaʻemaʻe (HV), ka nui o ka hoʻohana ʻana i ka 1440m3 / h, ke kekelē ma ka helu hoʻohana -59995 Pa. ʻO ka lumi hoʻoheheʻe ea a me ka lumi hoʻomaʻamaʻa ʻokoʻa aia ʻelua ma ka 909 papahana papahana.

Ke kohoʻana i nā mea paipu a me nā mea pono
ʻO ke kinoea i hoʻohana ʻia i ka hana VLSI he koi hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe loa.ʻO nā paipu kinoea hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻehoʻohana mau ʻia i nā wahi hana maʻemaʻe, a ʻo ko lākou hoʻomaʻemaʻe hoʻomaʻemaʻe pono e kūlike a ʻoi aku paha ma mua o ka pae maʻemaʻe o ka wahi i hoʻohana ʻia! Eia kekahi, hoʻohana pinepine ʻia nā pipeline gas maʻemaʻe kiʻekiʻe i nā wahi hana maʻemaʻe. ʻO ka hydrogen maʻemaʻe (PH2), ka oxygen maʻemaʻe kiʻekiʻe (PO2) a me kekahi mau kinoea kūikawā he mau kinoea pahū, pahū, kākoʻo puhi ahi a i ʻole nā ​​kinoea ʻawaʻawa. Inā hoʻolālā maikaʻi ʻole ʻia ka ʻōnaehana pipeline kinoea a i ʻole ke koho pono ʻia ʻana o nā mea, ʻaʻole e emi wale ka maʻemaʻe o ke kinoea i hoʻohana ʻia ma ke kiko kinoea, akā e hāʻule pū kekahi. Hoʻokō ia i nā koi kaʻina hana, akā ʻaʻole palekana ka hoʻohana ʻana a e hoʻohaumia i ka hale hana maʻemaʻe, e pili ana i ka palekana a me ka maʻemaʻe o ka hale hana maʻemaʻe.
ʻO ka hōʻoiaʻiʻo o ka maikaʻi o ke kinoea hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe ma kahi o ka hoʻohana ʻana ʻaʻole i hilinaʻi wale i ka pololei o ka hana kinoea, nā mea hoʻomaʻemaʻe a me nā kānana, akā pili pū kekahi i nā mea he nui i ka ʻōnaehana pipeline. Inā hilinaʻi mākou i nā mea hana kinoea, nā mea hoʻomaʻemaʻe a me nā kānana ʻAʻole pololei ke kau ʻana i nā koi kikoʻī kiʻekiʻe loa e uku ai i ka hoʻolālā ʻana o ka ʻōnaehana paipu kinoea kūpono ʻole a i ʻole ke koho ʻana i nā mea.
I loko o ke kaʻina hana hoʻolālā o ka papahana 909, ua hahai mākou i ka "Code for Design of Clean Plants" GBJ73-84 (ʻo ke kūlana o kēia manawa (GB50073-2001)), "Code for Design of Compressed Air Stations" GBJ29-90, "Code no ka Hoʻolālā ʻana o nā Oxygen Stations" GB50030-91 , "Code for Design of Hydrogen and Oxygen Stations" GB50177-93, a me nā hana ʻenehana kūpono no ke koho ʻana i nā mea pipeline a me nā lako. "Code for Design of Clean Plants" e kuhikuhi ana i ke koho ʻana i nā mea pipeline a me nā valve penei:

(1) Inā ʻoi aku ka maʻemaʻe o ke kinoea ma mua a i ʻole like me 99.999% a ʻoi aku ka haʻahaʻa o ka hau ma mua o -76°C, 00Cr17Ni12Mo2Ti haʻahaʻa-carbon stainless steel paipu (316L) me ka pā electropolished i loko a i ʻole OCr18Ni9 ʻili kila paipu (304) me pono e hoʻohana ʻia ka paia i loko electropolished. Pono ka valve he diaphragm valve a i ʻole bellows valve.

(2) Inā ʻoi aku ka maʻemaʻe o ke kinoea ma mua o a i ʻole like me 99.99% a ʻoi aku ka haʻahaʻa o ka hau ma mua o -60 ° C, pono e hoʻohana ʻia ʻo OCr18Ni9 kuhili ʻole (304) me ka pā i loko electropolished. Ma waho aʻe o nā puʻupuʻu bellows pono e hoʻohana ʻia no nā paipu kinoea hoʻopau ʻia, pono e hoʻohana ʻia nā kiwi pōpō no nā paipu kinoea ʻē aʻe.

(3) Inā ʻoi aku ka haʻahaʻa o ka hau o ka ea paʻa maloʻo ma mua o -70 ° C, pono e hoʻohana ʻia ʻo OCr18Ni9 paipu kila kila (304) me ka paia o loko. Inā haʻahaʻa ka wahi hau ma lalo o -40 ℃, pono e hoʻohana ʻia ka paipu kila kila ʻole OCr18Ni9 (304) a i ʻole ka paipu kila maʻemaʻe. ʻO ka pahu he pahu bellows a iʻole ka pahu kinipōpō.

(4) Pono e kūpono ka mea valve me ka mea pili i ka paipu.

E like me nā koi o nā kikoʻī a me nā hana ʻenehana kūpono, e noʻonoʻo nui mākou i nā ʻano aʻe i ke koho ʻana i nā mea pipeline:

(1) Pono e liʻiliʻi ka ea permeability o nā mea paipu. ʻO nā paipu o nā mea like ʻole he ʻokoʻa ka ea permeability. Inā koho ʻia nā paipu me ka nui o ka ea permeability, ʻaʻole hiki ke wehe ʻia ka pollution. ʻOi aku ka maikaʻi o nā paipu kila kila a me nā paipu keleawe i ka pale ʻana i ke komo ʻana a me ka corrosion o ka oxygen i ka lewa. Eia nō naʻe, no ka mea ʻoi aku ka ikaika o nā paipu kila kila ma mua o nā paipu keleawe, ʻoi aku ka ikaika o nā paipu keleawe i ka ʻae ʻana i ka makū o ka lewa e komo i loko o ko lākou mau ʻili. No laila, i ke koho ʻana i nā paipu no nā pipeline kinoea maʻemaʻe kiʻekiʻe, ʻo nā paipu kila kila ke koho mua.

(2) Hoʻopili ʻia ka ʻili o loko o ka mea paipu a he hopena liʻiliʻi i ka nānā ʻana i ke kinoea. Ma hope o ka hana ʻia ʻana o ka paipu kila kila, e mālama ʻia kekahi nui o ke kinoea i loko o kāna lattice metala. Ke hele ka kinoea maʻemaʻe kiʻekiʻe, e komo kēia ʻāpana o ke kinoea i ke kahe o ka ea a hoʻohaumia. I ka manawa like, ma muli o ka adsorption a me ka nānā ʻana, ʻo ka metala ma ka ʻaoʻao o loko o ka paipu e hoʻopuka pū i kahi nui o ka pauka, e hoʻohaumia ai i ke kinoea maʻemaʻe kiʻekiʻe. No nā ʻōnaehana paipu me ka maʻemaʻe ma luna o 99.999% a i ʻole ka pae ppb, pono e hoʻohana ʻia ka 00Cr17Ni12Mo2Ti haʻahaʻa carbon stainless steel paipu (316L).

(3) ʻOi aku ka maikaʻi o ka pale ʻana o nā paipu kila kila ma mua o nā paipu keleawe, a ʻoi aku ka liʻiliʻi o ka lepo metala i hana ʻia e ka ea kahe. Hiki i nā hale hana hana me nā koi kiʻekiʻe no ka hoʻomaʻemaʻe ke hoʻohana i ka 00Cr17Ni12Mo2Ti haʻahaʻa carbon stainless steel paipu (316L) a i ʻole OCr18Ni9 mau paipu kila kila (304), ʻaʻole e hoʻohana ʻia nā paipu keleawe.

(4) No nā ʻōnaehana paipu me ka maʻemaʻe kinoea ma luna o 99.999% a i ʻole ppb a i ʻole ppt pae, a i ʻole i loko o nā lumi maʻemaʻe me nā pae hoʻomaʻemaʻe ea o N1-N6 i kuhikuhi ʻia ma ka "Clean Factory Design Code", nā paipu ultra-clean a i ʻole.ʻO nā paipu hoʻomaʻemaʻe ultra EPpono e hoohanaia. E hoʻomaʻemaʻe i ka "paipu maʻemaʻe me ka ʻili o loko maʻemaʻe".

(5) ʻO kekahi o nā ʻōnaehana pipeline kinoea kūikawā i hoʻohana ʻia i ke kaʻina hana he mau kinoea corrosive. Pono nā paipu i loko o kēia mau paipu paipu e hoʻohana i nā paipu kila kuhili ʻole e like me nā paipu. A i ʻole, e pōʻino nā paipu ma muli o ka pala. Inā loaʻa nā wahi ʻino ma luna o ka ʻili, ʻaʻole e hoʻohana ʻia nā paipu kila maʻemaʻe ʻole a i ʻole nā ​​paipu kila welded galvanized.

(6) Ma ke kumu, pono e wili ʻia nā pilina paipu kinoea a pau. No ka hoʻopau ʻana o nā paipu kila galvanized i ka papa galvanized, ʻaʻole hoʻohana ʻia nā paipu kila galvanized no nā paipu i nā lumi maʻemaʻe.

Ma ka noonoo ana i keia mau mea maluna, o na paipu paipu kinoea a me na kiwi i kohoia ma ka papahana &7& penei:

Hana ʻia nā paipu ʻōnaehana hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe (PN2) me 00Cr17Ni12Mo2Ti haʻahaʻa-carbon stainless steel paipu (316L) me nā paia i loko electropolished, a ua hana ʻia nā kiwi i nā kilika kila kila o ka mea like.
ʻO nā paipu ʻōnaehana nitrogen (N2) i hana ʻia me 00Cr17Ni12Mo2Ti haʻahaʻa-carbon stainless steel paipu (316L) me nā paia i loko electropolished, a ua hana ʻia nā kiwi i nā kilika kila kila o ka mea like.
Hana ʻia nā paipu ʻōnaehana hydrogen (PH2) maʻemaʻe kiʻekiʻe o 00Cr17Ni12Mo2Ti nā paipu kila stainless steel haʻahaʻa (316L) me nā paia i loko electropolished, a ua hana ʻia nā kīwaha i nā kilika kila kila o ka mea like.
Hana ʻia nā paipu ʻōnaehana oxygen (PO2) maʻemaʻe kiʻekiʻe me 00Cr17Ni12Mo2Ti haʻahaʻa-carbon stainless steel pipes (316L) me nā paia i loko electro-polished, a ua hana ʻia nā kiwi i nā kilika kila kila o ka mea like.
Hana ʻia nā paipu ʻōnaehana Argon (Ar) me 00Cr17Ni12Mo2Ti haʻahaʻa-carbon stainless steel paipu (316L) me nā paia i loko electropolished, a ua hoʻohana ʻia nā kiwi o nā mea like.
Hana ʻia nā paipu ʻōnaehana helium (He) me 00Cr17Ni12Mo2Ti haʻahaʻa-carbon stainless steel paipu (316L) me nā paia i loko electropolished, a ua hana ʻia nā kīwaha i nā kilika kila kila o ka mea like.
ʻO nā paipu ʻōnaehana maloʻo maloʻo maloʻo (CDA) i hana ʻia me nā paipu kila kila ʻole OCr18Ni9 (304) me nā paia o loko i hoʻonani ʻia, a ua hana ʻia nā kiwi me nā kilika kila kila o ka mea like.
Hana ʻia nā paipu ʻōnaehana hoʻoheheʻe ʻia (BA) me nā paipu kila kila ʻole OCr18Ni9 (304) me nā paia o loko i hoʻonani ʻia, a ua hana ʻia nā kiwi me nā kiwi pōpō kila kila o ka mea like.
Hana ʻia nā paipu ʻōnaehana hoʻoheheʻe (PV) me nā paipu UPVC, a ua hana ʻia nā kiwi i nā kiwi lele lele i hana ʻia me ka mea like.
Hana ʻia nā paipu ʻōnaehana hoʻomaʻemaʻe (HV) i nā paipu UPVC, a ua hana ʻia nā kiwi i nā ʻūlū butterfly i hana ʻia me ka mea like.
ʻO nā paipu o ka ʻōnaehana kinoea kūikawā i hana ʻia me 00Cr17Ni12Mo2Ti haʻahaʻa-carbon stainless steel paipu (316L) me nā paia i loko electropolished, a ua hana ʻia nā kīwaha i nā kilika kila kila o ka mea like.

3 Kūkulu a hoʻokomo i nā paipu
3.1 ʻO ka pauku 8.3 o ka “Clean Factory Building Design Code” e kuhikuhi ana i kēia mau ʻōlelo no nā hoʻopili paipu:
(1) Pono e wili ʻia nā paipu paipu, akā pono e hoʻopaʻa ʻia nā paipu hao hao wela.
(2) Pono e hoʻopili ʻia nā paipu kila kila e ka wiliwili argon arc a me ka welding butt a i ʻole ka hoʻoheheʻe ʻia ʻana, akā pono e hoʻopili ʻia nā paipu kinoea hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe e ka wili kī me ka ʻole o nā kaha ma ka paia o loko.
(3) Pono ka pilina ma waena o nā pipeline a me nā mea hana e hoʻokō i nā koi pili o nā mea hana.
(4) Pono ka pilina ma waena o nā pipelines a me nā valves e hoʻokō i nā lula aʻe

① ʻO ka mea hoʻopaʻa e hoʻopili ai i nā pipeline kinoea hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe a me nā kiwi e hoʻohana i nā gasket metala a i ʻole nā ​​ferrules pālua e like me nā koi o ke kaʻina hana a me nā ʻano kinoea.
②Polytetrafluoroethylene ka mea e hoʻopaʻa ʻia ai ma ka wili a i ʻole ka flange.
3.2 E like me nā koi o nā kikoʻī a me nā hana ʻenehana kūpono, pono e hoʻopili ʻia ka pilina o nā pipeline gas maʻemaʻe kiʻekiʻe e like me ka hiki. Pono e ʻalo ʻia ka wili kī pololei i ka wā wili. Pono e hoʻohana ʻia nā lima paipu a i ʻole nā ​​​​hui i hoʻopau ʻia. Pono e hana ʻia nā lima o ka paipu me ka mea like a me ka maʻalahi o loko e like me nā paipu. pae, i ka wā welding, i mea e pale aku ai i ka oxidation o ka welding part, pono e hoʻokomo ʻia ke kinoea pale maʻemaʻe i loko o ka paipu kuʻi. No nā paipu kila kila, pono e hoʻohana ʻia ka wiliwili argon arc, a e hoʻokomo ʻia ke kinoea argon o ka maʻemaʻe like i loko o ka paipu. Pono e hoʻohana ʻia ka pilina pili a i ʻole ka pilina pili. I ka hoʻohui ʻana i nā flanges, pono e hoʻohana ʻia nā ferrules no nā pilina pili. Ma waho aʻe o nā paipu oxygen a me nā paipu hydrogen, pono e hoʻohana i nā gasket metala, pono nā paipu ʻē aʻe e hoʻohana i nā gasket polytetrafluoroethylene. ʻO ka hoʻopili ʻana i kahi wahi liʻiliʻi o ka silicone rubber i nā gaskets e ʻoi aku ka maikaʻi. Hoʻonui i ka hopena sealing. Pono e hana ʻia nā ʻano like ke hana ʻia nā hoʻohui flange.
Ma mua o ka hoʻomaka ʻana o ka hana hoʻonohonoho, e nānā pono i nā paipu,nā lako, kiwikā, a pela aku. Pono e ʻohi ʻia ka paia o loko o nā paipu kila kila ma mua o ke kau ʻana. ʻO nā paipu, nā mea pono, nā valves, a me nā mea'ē aʻe o nā paipu oxygen pono e pāpā loaʻia mai kaʻaila, a pono e hoʻopau ponoʻia e like me nā koi kūpono ma mua o ka hoʻokomoʻana.
Ma mua o ka hoʻokomo ʻia ʻana o ka ʻōnaehana a hoʻohana ʻia, pono e hoʻomaʻemaʻe ʻia ka ʻōnaehana pipeline hoʻouna a hoʻolaha me ke kinoea hoʻomaʻemaʻe kiʻekiʻe. ʻAʻole kēia e puhi wale i nā ʻāpana lepo i hāʻule i loko o ka ʻōnaehana i ka wā o ke kaʻina hana, akā hoʻokani pū kekahi i kahi hana maloʻo i ka ʻōnaehana pipeline, e hoʻoneʻe ana i kahi ʻāpana o ke kinoea i hoʻopaʻa ʻia e ka pā paipu a me nā mea paipu.

4. ʻO ka ho'āʻo a me kaʻaeʻana i ke kaomi paipu
(1) Ma hope o ka hoʻokomo ʻia ʻana o ka ʻōnaehana, e hoʻokō ʻia ka 100% radiographic inspection o nā paipu e lawe ana i nā wai ʻawaʻawa i loko o nā pipeline kinoea kūikawā, a ʻaʻole e emi ko lākou maikaʻi ma mua o Level II. Pono nā paipu ʻē aʻe i ka nānā ʻana i ka radiographic sampling, a ʻaʻole e emi ka ratio sampling inspection ma lalo o 5%, ʻaʻole e emi ka maikaʻi ma mua o ka papa III.
(2) Ma hope o ka hala ʻana i ka nānā ʻole luku ʻole, pono e hoʻokō ʻia kahi hoʻokolohua kaomi. I mea e hōʻoia ai i ka maloʻo a me ka maʻemaʻe o ka ʻōnaehana paipu, ʻaʻole pono e hoʻokō ʻia kahi hoʻokolohua hydraulic pressure, akā pono e hoʻohana ʻia kahi hoʻokolohua pneumatic pressure. Pono e hoʻokō ʻia ka hoʻāʻo ʻana o ka ea me ka hoʻohana ʻana i ka nitrogen a i ʻole ka ea compressed i kūpono i ka pae maʻemaʻe o ka lumi maʻemaʻe. ʻO ke kaomi hoʻāʻo o ka pipeline he 1.15 mau manawa o ka hoʻolālā hoʻolālā, a ʻo ka hoʻāʻo ʻana o ka pipeline vacuum he 0.2MPa. I ka wā o ka hoʻāʻo, pono e hoʻonui mālie a hoʻonui mālie. Ke piʻi ka puʻe i 50% o ke kaomi hoʻāʻo, inā ʻaʻole i ʻike ʻia kahi abnormality a i ʻole leakage, e hoʻomau i ka hoʻonui ʻana i ke kaomi i kēlā me kēia lā e 10% o ke kaomi hoʻāʻo, a hoʻopaʻa i ke kaomi no 3 mau minuke i kēlā me kēia pae a hiki i ke kaomi hoʻāʻo. . E hoʻopaʻa i ke kaomi no 10 mau minuke, a laila e hoʻemi i ke kaomi i ke kaomi hoʻolālā. Pono e hoʻoholo ʻia ka manawa hoʻomaha e like me ka pono o ka ʻike leak. Kūpono ka mea hoʻohāhā inā ʻaʻohe leakage.
(3) Ma hope o ka hoʻāʻo ʻana o ka ʻōnaehana hoʻoheheʻe, pono ia e hana i kahi hoʻāʻo 24-hour vacuum degere e like me nā palapala hoʻolālā, a ʻaʻole pono ka nui o ka pressurization ma mua o 5%.
(4) Hōʻike leakage. No nā ʻōnaehana pipeline ppb a me ppt, e like me nā kikoʻī pili, ʻaʻohe leakage e manaʻo ʻia he kūpono, akā hoʻohana ʻia ka nui o ka leakage i ka wā o ka hoʻolālā ʻana, ʻo ia hoʻi, hana ʻia ka hōʻike leakage ma hope o ka hoʻāʻo ʻana o ka ea. ʻO ke kaomi ke kaomi hana, a hoʻopau ʻia ke kaomi no 24 mau hola. ʻOi aku ka liʻiliʻi o ka leakage o kēlā me kēia hola ma mua o 50ppm e like me ke kūpono. ʻO ka helu ʻana o ka leakage penei:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
Ma ka papa kuhikuhi:
Hoʻokahi hola leakage (%)
P1-Pumi piha i ka hoʻomaka ʻana o ka hoʻāʻo (Pa)
P2-Pumi piha ma ka hopena o ka ho'āʻo (Pa)
T1-mahana piha i ka hoʻomaka ʻana o ka hoʻāʻo (K)
T2-ka wela piha ma ka hopena o ka hoao (K)