No ke aha he mea koʻikoʻi loa nā ʻōnaehana hoʻouna kinoea UHP?
I ka hana ʻana o ka semiconductor—nā kaʻina hana e like me ke kālai ʻana, CVD, ka hoʻokomo ʻana o ka ion, a me ka lithography—pono nā kinoea hana i ka maʻemaʻe kiʻekiʻe loa, ma ke ʻano maʻamau he 99.9999% (6N) a i ʻole 99.99999% (7N). ʻOiai nā mea haumia liʻiliʻi ma ka pae ppb (nā ʻāpana no ka piliona) a i ʻole ppt (nā ʻāpana no ka trillion)—e like me ka makū a i ʻole ka oxygen—hiki ke hana i nā hemahema make e like me ka lahilahi o ka gate oxide, nā hakahaka metala, a i ʻole nā kaapuni pōkole ma nā wafers, e hiki ai ke ʻoki i nā ʻāpana holoʻokoʻa.
No laila, ʻo ka misionari o kahi ʻōnaehana hoʻouna kinoea UHP, ʻo ia ka lawe ʻana i nā kinoea mai ke kumu a i ka mea hana hana me ka ʻole o ka hōʻino ʻana i ka maʻemaʻe, e pale ana i ka haumia a me ka leakage ma kēlā me kēia wahi.
No ke aha i lilo ai ka EP Tubing i iwi kuamoʻo o nā ʻōnaehana UHP?
Hana ʻia ka paipu EP (Electropolish) mai ke kila kila i hana ʻia i kahi kaʻina hana polishing electrochemical, e loaʻa ai kahi ʻili kūloko e like me ke aniani. ʻO kēia ka mea e lilo ai ia i "artery" pono loa no ka hoʻolaha ʻana o ke kinoea UHP.
Ka Maʻemaʻe Loa - Ka Pale ʻana ma ke Kumu
Hoʻemi ka hana ʻana o EP i ka ʻoʻoleʻa o loko (Ra) i 0.13 µm - 0.25 µm a i ʻole haʻahaʻa. Hoʻopau kēia ʻano laumania loa i nā māwae microscopic a me nā wahi adsorption, me ka waiho ʻole ʻana i kahi no nā ʻāpana, nā ion metala, a i ʻole ka makū e pipili.
Hoʻonui ʻia ke kūpaʻa ʻana i ka palaho - Mālama Maʻemaʻe
Hoʻopau ke kaʻina hana electropolishing i nā haumia o ka ʻili a hana i kahi papa passive waiwai chrome-oxide, e hoʻomaikaʻi nui ana i ke kū'ē ʻana i nā kinoea corrosive e like me Cl₂, CF₄, a me HCl. Pale kēia i ka pala o ka paia paipu e hiki ke hoʻoulu i nā particulates a i ʻole ka haumia gas.
Hoʻomaikaʻi i ka pono o ke kahe ʻana a me ka wikiwiki o ka hoʻomaʻemaʻe ʻana
Hoʻemi ka paia kūloko laumania i ke kū'ē ʻana o ke kahe a hoʻolalelale i ka hoʻomaʻemaʻe ʻana o ka ʻōnaehana a me ka hoʻololi ʻana i ke kinoea. I nā kaʻina hana e pono ai ka hoʻololi wikiwiki ʻana i ke kinoea, hoʻopōkole kēia i nā manawa pōʻaiapuni a hoʻonui i ka throughput fab.
Mea Kūlana Kiʻekiʻe - Ke Kūlana "Lei Aliʻi"
Hana ʻia nā paipu EP kiʻekiʻe mai ke kila kila 316L VIM‑VAR (Vacuum Induction Melting + Vacuum Arc Remelting). Hōʻoia kēia kaʻina hana hoʻoheheʻe pālua i ka maʻemaʻe nui o ka metala kumu, ʻo ia ke kumu nui no ka hoʻokō ʻana i ka hana hope loa o EP.
Nā Hiʻohiʻona Noi Koʻikoʻi
•
Nā Kaʻina Hana Koʻikoʻi– Ka hāʻawi ʻana i nā kinoea reactive maʻemaʻe kiʻekiʻe no ke kālai ʻana, CVD, hoʻokomo ʻana ion, a me ka lithography.
•
Nā Kinoea Kūikawā– Ka lawelawe palekana ʻana i nā kinoea lapalapa, ʻawahia, a ʻino paha e like me SiH₄, PH₃, Cl₂, a me BCl₃. No nā kinoea weliweli loa, hoʻohana pinepine ʻia ka paipu EP pālua (ka paipu o loko no ke kinoea, ka ʻaʻahu waho i hoʻoneʻe ʻia a i ʻole i hoʻomaʻemaʻe ʻia me ka naikokene no ka nānā ʻana i ka leaka).
•
Nā Lako Koʻikoʻi– Hoʻohana ʻia i loko o nā panela hoʻolaha kinoea (VMB), nā keʻena kinoea, a me nā mea hana hana kahi e koi ʻia ai nā ʻili kūloko maʻemaʻe loa.
Ma ʻō aku o ka Tubing: Nā Pono ʻē aʻe no kahi ʻōnaehana UHP piha
No ka hōʻoia ʻana i ka kūpaʻa piha, pono e hoʻokomo pū ka ʻōnaehana i:
•
Kuʻihao Orbital piha piha- Hana ʻia ma nā lumi maʻemaʻe ISO Class 5 (Class 100) a ʻoi aku paha, e hoʻopau ana i nā ʻokoʻa o ka hoʻopili lima ʻana a me nā pilikia haumia.
•
Nā Mea Hoʻopaʻa Sila Maka Metala Apau– E like me nā ʻano VCR® a i ʻole W-Seal, ka mea e hilinaʻi nei i nā gaskets metala no ka hana ʻole-leak.
•
Hoʻomaʻemaʻe Koʻikoʻi a me ka Hoʻopili ʻana– Hoʻomaʻemaʻe pinepine ʻia nā paipu EP me ka wai maʻemaʻe kiʻekiʻe, hoʻomaloʻo ʻia, a hoʻomaʻemaʻe ʻia me ka naikokene ma mua o ka hoʻopaʻa pālua ʻia ʻana i loko o ka ʻeke lumi maʻemaʻe e mālama i ko lākou maʻemaʻe "e like me ka hoʻouna ʻia" a hiki i ke kau ʻana.
ʻAʻole wale ka paipu EP he paipu—ʻo ia ka laina pale mua i ka lawe ʻana i ke kinoea semiconductor. ʻO kona ʻili laumania loa, ke kūpaʻa kiʻekiʻe i ka palaho, a me ka maʻemaʻe o nā mea waiwai kiʻekiʻe e hoʻopilikia pololei i ka hua wafer, ka hilinaʻi o ka hāmeʻa, a me ka loaʻa kālā holoʻokoʻa. I ke ao o nā kikowaena sub-5nm a me nā kālā kīnā paʻa loa, ʻaʻole koho ka paipu EP—he mea kumu ia.
Ka manawa hoʻouna: Aug-05-2026